информации по "входу" процесса, его элементами могут являться следующие пропозиции: "совмещены вместе", "разъединены", "пластина расположена в нижней части пьедестала", "пластина в контейнере", "заготовка между молотом и наковальней".

Родовая структура D0 определяет "вход" ("выход") процесса. Одновременно она выражает влияние конфигурационных ограничений, т.е. дает множество допустимых входных (выходных) состояний. Элемент из D0 представляет собой двойку "состояние нескольких субстратов; тройка: "состояние оборудования; состояние нескольких расходных материалов; состояние нескольких компонентов отходов" " в какой-либо из возможных конфигураций. Заметим, что если используется n>1 субстратов, то целесообразно заменить B(X) на Хп; поскольку основное оборудование в каждой ТО используется в единственном экземпляре, то мы не стали ставить знак булеана у Х1. Смысл булеанов для X2, X3, X4 таков, что в ТО могут быть задействованы несколько элементов из этих множеств одновременно (например, если в реактор подаются SiH2Cl2+HCl, то рассматривается двухэлементное подмножество). Родовая структура D1, если убрать первую компоненту декартова произведения, практически повторяет собой родовую структуру КС "Абстрактный процесс" [1 ]. Эта компонента имеет смысл условий технологического режима, при которых возможен переход "входа" в "выход". Элемент из D1 есть двойка: "данный промежуток времени плюс имеющееся вспомогательное оборудование в данном состоянии; пара входа-выхода". Родовая структура D2 ставит в соответствие множеству путей осуществления ТО множество их агрегированных характеристик.

Аксиома Ах0 указывает на финитность множества Х0 и наличие в нем по крайней мере, трех элементов. Их можно интерпретировать через названия частей литературного произведения: "завязка" ("соединение"), "кульминация" ("выполнение основной операции"), "развязка" ("разъединение"). Важно отметить, что множество Х0 в общем случае неупорядочено. Аксиома Ах1 предполагает наличие всех компонент ТО, кроме, быть может, субстрата. Последний случай (на первый взгляд странный) имеет место при проведении регламентно-профилактических работ для восстановления частично утраченных качеств основного оборудования. Аксиома Ах2 говорит: "Всякое изменение состояния имеет длительность". Аксиома Ах3 в некотором смысле является порождением Ах1: "Если субстрат отсутствовал в начале процесса, то он будет отсутствовать и в конце процесса". Аксиома Ах4 в расширенной форме утверждает то же, что и Ах3 в КС "Абстрактный процесс": "При данных технологических условиях и входном состоянии единственно состояние выхода". Аксиомы Ах5, Ах6, Ах7 имеют принципиальное значение, напоминая нам о том, что ТО все-таки не один процесс, а цепочка последовательно связанных процессов. То, что мы не стали делать на множестве Х0, мы сделаем сейчас, вводя порядок на множестве D1: существует первый элемент (Ах5), существует последний (Ах6; более сильно установить в Ах6 финитность D1, откуда следует существование данных элементов), для каждого элемента, кроме последнего, единственен последующий (Ах7). Естественно связать

этот порядок с тождественностью "входа" одного процесса "выходу" другого. Последняя аксиома Ах8 определяет наличие того, что подлежит оценке.

2.КС «Технологический маршрут»

Под "технологическим маршрутом" (ТМ) мы понимаем такую последовательность технологических операций (из заданного набора), совершаемых в определенном технологическом режиме, чтобы воспроизводимо достигалось получение желаемого изделия при заданном уровне контроля и тестирования. Ключевыми словами здесь являются "последовательность", "воспроизводимость" и "тестирование". На рис.2 показана концептуальная схема технологического маршрута в атрибутивной форме.

Рис.2 Концептуальная схема «Технологический маршрут» в атрибутивной форме.

В родоструктурной форме КС "Технологический маршрут" представляется: Понятия:

X- множество состояний субстрата;

X - множество идеалов (проектов);

Y- множество наименований технологических операций;

Z1- множество значений критериев качества ТО;

Z- множество значений критериев качества ТМ;

Вспомогательные понятия: Если R+- множество неотрицательных действительных чисел, то введем на множестве Х расстояние (метрику) и семейство мер:

F1=(XxX)xR+;

F2=(B(X)xX)xR+;

Численные значения расстояния и меры будем обозначать соответственно: f(x,y) Vx,yeX и fx(X1) при фиксированном xeX и VX1czX. Также введем шею, 81,82eR+, причем е1>82>0.

Отношения:

D1eB(X*m+1);

D2B(X*xB(X));

D3e B(Yx(B(X)xB(X))xZ1);

D4eB(D1xD3m);

D5eB(D4xZ).

Аксиомы (ограничения): (i=1,2,...,m) Ax0: (VxeX*) (xeX); Ax1: Vd,peFj (pr1d=pr1p)=> (pr2d=pr2p), j=1,2.

Ax2: Vx,y,zeX ((f(x,y)=0 <=> x=y)A(f(x,y)=f(y,x))A(f(z,x)<f(z,y)+f(y,x)));

Ax3: VxeX (X12£=>(fx(X1)<fx(X2));

Ax4: VdeD1 Vi prid0;

Ax5: VdeD2 (pr1d0)A( pr2d0);

Ax6: Vd,peD2 (pr1d=pr1p) =>(pr2d=pr2p);

Ax7: VdeD2 (x=pr1d) =>(Vyepr2d f(x,y)<82);

Ax8: VdeD3 ((pr1d0)A(pr1(pr2d)0));

Ax9: Vd,peD3 (((pr1d=pr1p)A(pr2d=pr2p)) (prsd=pr3p));

Ax10: VdeD3 ((Vx,yepr1(pr2d) f(x,y)<81)A(Vx,yepr2(pr2d) f(x,y)<81);

Ax11: VdeD1 Vi 3peD2: prid=pr1p;

Ax12: VdeD4 (pr1d0);

AxD: Vde D4,Vi(Зе pr1(pr2d):f(xbpri(pnd))<81)A(3xi+1e ppd):

f(xi+1,pri+1(pr1d))<81);

Ax14: VdeD4 pprd) pr1(pri+1(pr2d)); Ax15: Vd,peD4 (pr2d=pr2p) => (pr1d=pr1p); Ax16: Vde D5 (pr1d0)A(pr2d0).

Термы:

TR1=(pr1d deD3: ((pr1(pr2d)=pr2(pr2d))A(pr3d0))}, TRj.cz Y - множество наименований операций неразрушающего контроля;

TR1=(pr1ddeD3: ((pr2(pr2d)=0)A(pr3d0))}, TRY- множество наименований операций разрушающего контроля; Для произвольного элемента deD4 введем следующие термы:

TR3d={x xepr1(pr2(pr1(pr2d)))}- "вход" технологического маршрута;

TR4d={x xepr2(pr2(prm(pr2d)))}- "выход" технологического маршрута;

Очевидно, что если v=prm+1(pr1d), то VdeD4 3!peD2: pr2p=v. Тогда:

TR5d=%d=fv(pr2p)/fv(TR4d) - процент выхода годных;

TR6d=extd= fv(TR4d)/ fv(TR3d)