W =

млп

Е

1

1 -м3 1м 1

Рис. 3. ПСС напряжений плоской мембраны под давлением

Таким образом, построена ПСС напряжений мембраны и определены математические зависимости, выражающие величины и параметры ПСС через реальные физические величины, то есть, разработана математическая модель деформаций плоской мембраны.

Диафрагма отличается от мембраны наличием отверстия в центре. Для обеспечения достаточной точности математической модели нужно увеличить количество звеньев n так, чтобы на участок радиуса от отверстия до периферии мембраны приходилось не менее 5 звеньев. В то же время в радиусе отверстия должно укладываться целое количество звеньев n0. ПСС диафрагмы идентична ПСС мембраны. Отличие состоит в том, что для диафрагмы последним звеном является звено (n-n0). Нумерация звеньев ведется от периферии к центру.

Следующий этап - разработка ЭИМЦ вибрационного датчика давления. Так как при воздействии усилия на резонатор изменяется частота его колебаний, которая не является ни параметром ПСС, ни величиной, а является аргументов функции величины синусоидального механического заряда (положения колеблющейся точкой), и зависимость эта нелинейная, то теория ЭИМЦ и аппарат ПСС не описывают эти преобразования. В связи с этим, теория ЭИМЦ была дополнена новым понятием - функцией величины, а в

,,Цг(п)

lUr(n)Uh

Jr(n)

KuunUuy

и

Ому!

0му1

*МЛ Г1,

W,

му1

11

г(п)

Jr(n)

Ому 2

Quy2

W,

му2

Ому(П-Пп)

urtn-no)-i

-муп

Qh/yCn-ng)

0uyi2

U(n-n0) Ur<n-nn)

Quyil

Quy2

К3му0мл11

QhyQhi

Quy(n-ng)

Junt2

*МЛ r(n-ng)

Quyi(n rig)

KQuyQn,

0мл2

WH„2

Онл t(n-n0)

«мл(п-по)

WMn(n-n0)

Имлп-по)

(f = У (Uim))

5мл = (А, f0,cp)

Рис 4. ПСС микроэлектронного частотного датчика давления

Литература

1.Карцев Е.А. Датчики неэлектрических величин на основе унифицированного микромеханического резонатора Приборы и системы управления. 1966. № 4

2.Л. Е. Андреева. Упругие элементы приборов. М.: Машиностроение. 1981, 392с.

3.И. Ю. Петрова, О. М. Шикульская. Универсальная структурно-параметрическая модель плоской мембраны Датчики и системы 2000 №2 - с.14-16

4.Зарипов М. Ф., Петрова И. Ю. Энергоинфориационный метод анализа и синтеза чувствительных элементов систем управления Датчики и системы. 1999 № 5.

аппарат ПСС введены новые обозначения: ромб - для параметра величины, и скругленный прямоугольник - для обозначения нелинейной функции. Это позволило разработать ПСС микроэлектронного частотного датчика давления (рис. 4) и выявить математических зависимостей, выражающих величины и параметры ПСС через реальные физические величины. Введенные в теорию ЭИМЦ дополнения можно использовать для описания колебательных и волновых процессов любой физической природы.